簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "微影製程".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="透鏡加熱修正因子"


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    以影像品質控制改善微影步進機透鏡加熱效應
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 莊至瑋 指導教授: 黃佑民 許覺良
    • 中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響,所衍生之曝光條件的變動頻繁,因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術,面臨透鏡加熱效應顯著的困擾,造成0.5μm多晶矽閘層的…
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